產品與服務
SMIF Pod 晶圓傳送盒，傳送盒內放置Cassette，可固定晶圓片，確保200mm晶圓在製程站間運送與儲存的安全防護。尺寸皆符合SEMI規範，並提供高潔淨度之晶圓承載與自動化解決方案。
晶圓載具，承載半導體晶圓片適用於製程站間傳送或出貨用途，與晶舟盒搭配可儲存晶圓片並確保運輸安全。
高潔淨度可杜絕空氣中的汙染， 提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存時的高效能防護 ，應用於自動化曝光機台。
